Модел № |
VX3500 |
Сензор за изображения |
5M CMOS |
Екран |
24" LCD (XGA:1024×768) |
Обектив |
Телецентричен "object-space" обектив |
Осветяване |
Пръстен |
Четирисегментно осветление (бяла светлина / зелена светлина) |
Основа |
Телецентрично трансмисионно осветяване (зелена светлина) |
Поле на видимост |
Широко поле |
500 mm × 400 mm (4 Angle R50) |
Висока точност |
430 mm × 430 mm |
Резолюция |
0.1 um |
Повторяемост на измерването |
Широко поле |
Без шев*1 |
±1 um |
С шев*2 |
±2 um |
Висока точност |
Без шев*1 |
±0.5 um |
С шев*2 |
±1.5 um |
Точност на измерването |
Широко поле |
Без шев*1 |
±5 um |
С шев*2 |
±(6+0.005L) μm |
Висока точност |
Без шев*1 |
±2 um |
С шев*2 |
±(3+0.005L) μm |
Хоризонтален ротационен модул (по избор) |
Ъгъл на завъртане |
Обхват 360°, Резолюция 0.01° |
Скорост на завъртане |
0.2~2 rev/s |
Максимален диаметър |
∅60 mm |
Измерване на височината (оптична сонда) (по избор)
|
Обхват на измерване (XY) |
300 mm × 300 mm |
Макс. съотношение отвор-дълбочина (h/φ) |
1.5 |
Диаметър на лъча |
∅38 μm |
Резолюция |
0.25 μm |
Неподвижен Z |
Обхват (Z) |
±3.5 mm |
Точност |
±2 μm |
Z при движение |
Обхват (Z) |
70 mm |
Точност |
±(6+0.01H) μm, H е Z височина на преместване в mm |
Софтуер |
VisionX |
XY обектна маса |
X обхват на движение |
410 mm (моторизиран) |
Y обхват на движение |
310 mm (моторизиран) |
Товароносимост |
20 kg |
Обхват на движение на ос Z |
200 mm (моторизиран) |
Размери (ДxШxВ) |
(900×1340×1600) mm |
Структурна рамка |
Мрамор |
Тегло |
950 kg |
Вход |
AC 200~240 V / 50~60 Hz |
Работна среда |
Температура 10℃~35℃, влажност 30%~80%, вибрации < 0.002 g, по-малко от 15 Hz |