Параметри на системата: |
1. Метод на измерване: единична честота |
2. Точност на лазерната честота: 0.05ppm |
3. Динамична скорост на заснемане: 50kHz |
4. Време за загряване: около 6 min |
5. Работна температура: (0-40)℃ |
6. Температура на околната среда: (0-40)℃, влажност: 0-95% |
7. Температура на съхранение: -20℃-70℃ |
Сензори за околната среда: |
1. Сензор за атмосферна температура : ±0.1℃ (0-40)℃, резолюция: 0.01℃ |
2. Сензор за температура на материал: ±0.1℃ (0-40)℃, резолюция: 0.01℃ |
3. Сензор за атмосферна влажност: ±5% (0-95%) |
4. Сензор за атмосферно налягане: ±0.1kPa (65~115)kPa |
Линейно измерване: |
1. Обхват на измерване: (0-80)m |
2. Точност на измерване: 0.5ppm (0-40)℃ |
3. Резолюция на измерване: 1nm |
4. Максимална скорост на измерване: 4m/s |
Измерване на ъгли: |
1. Аксиален обхват: (0-15)m |
2. Обхват на измерване: ±10° |
3. Точност: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R показва стойност, единица ″; M е измерената дължина в m) |
4. Резолюция на измерване: 0.1″ |
Измерване на плоскост: |
1. Аксиален обхват: (0-15) m |
2. Обхват на измерване на плоскостта: ±1.5 mm |
3. Точност: ±(0.2%R+0.02M2) μm (R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m) |
4. Размер на основата: 180mm регулируем, 360mm регулируем |
5. Резолюция на измерване: 0.1μm |
Измерване на праволинейност: |
Елемент |
Аксиален обхват |
Обхват на измерване |
Точност |
Резолюция |
Къса праволинейност |
(0.1-4)m |
±3.0mm |
±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm |
0.01μm |
Дълга праволинейност |
(1-20)m |
±3.0mm |
±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm |
0.1μm |
Забележка: R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m |
Измерване на перпендикулярност: |
Елемент |
Аксиален обхват |
Обхват на измерване |
Точност |
Резолюция |
Къса перпендикулярност |
(0.1-3)m |
±3.0mm |
±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m |
0.01μm |
Дълга перпендикулярност |
(1-15)m |
±3.0mm |
±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
0.01μm |
Забележка: R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m |
Измерване на ротационна ос: |
1. Обхват на измерване на ъгъла: 0-360° |
2. Максимална скорост на въртене на оста: 10rpm |
3. Точност на стъпката на прецизна ротационна маса: ±1″ |
4. Резолюция: 0.1″ |